Struktur Lewis dan struktur molekul dari senyawa XeF4 adalah sebagai berikut.
Struktur Lewis merupakan penggambaran distribusi elektron dalam suatu struktur molekul dengan menggunakan tanda elektron. Struktur Lewis memuat lambang atom yang di sekelilingnya terdapat tanda titik, silang, atau bulatan kecil yang menggambarkan elektron valensi atom yang berikatan. Struktur ini menggambarkan bagaimana peranan elektron valensi dalam membentuk ikatan.
Sebelum menggambarkan struktur Lewis senyawa XeF4, maka perlu diketahui elektron valensi dari unsur Xe dan F. Untuk menentukan elektron valensi, perlu dibuat konfigurasi elektronnya. Konfigurasi elektron dari atom Xe dan F adalah sebagai berikut.
9F54Xe==1s2 2s2 2p5[36Kr] 5s2 4d10 5p6
Berdasarkan konfigurasi elektron di atas, diketahui bahwa elektron valensi atom F adalah 7 dan elektron valensi atom Xe adalah 8. Pada senyawa XeF4, atom Xe berikatan dengan 4 buah atom F dan membentuk ikatan kovalen. Struktur Lewis dan struktur molekul dari senyawa XeF4 adalah sebagai berikut.
Atom fluor (F) memerlukan 1 buah elektron untuk memenuhi kaidah oktet, sedangkan atom xenon (Xe) memiliki 8 elektron valensi. Oleh karena itu, setiap atom F menggunakan 1 buah elektronnya yang belum berpasangan secara bersama dengan 1 buah elektron dari atom Xe. Atom Xe sebagai atom pusat yang telah digunakan 4 buah elektronnya untuk membentuk ikatan kovalen, masih memiliki 2 pasang (4 buah) elektron bebas. Jika diamati, semua atom F dalam senyawa XeF4 telah mencapai kaidah oktet (8 elektron), tetapi atom Xe sendiri memiliki 12 buah elektron termasuk dengan pasangan elektron bebasnya. Hal ini termasuk dalam penyimpangan kaidah oktet, dimana atom pusat suatu senyawa memiliki elektron berjumlah kurang dari 8 atau lebih dari 8, tetapi terbentuk senyawa yang stabil.