Proses hibridisasi merupakan proses pencampuran orbital-orbital atom dalam atom pusat yang menyebabkan perubahan tingkat energi. Atom pusat dapat ditentukan berdasarkan atom yang memiliki keelektronegatifan terkecil, atau jika terdapat 1 atom dalam suatu molekul maka atom tersebut menjadi atom pusat. Pada SF4, atom pusatnya adalah S dan pada BrF5 atom pusatnya adalah Br.
Keadaaan dasar SF4:
Pada keadaan dasar, elektron dari atom S yang tidak berpasangan dan dapat berikatan dengan atom lain hanyalah 2 elektron pada orbital 3p, sedangkan dibutuhkan 4 elektron tidak berpasangan untuk berikatan dengan F.
Keadaan tereksitasi SF4:
Pada keadaan tereksitasi, satu elektron pada orbital 3p berpindah hingga menyebabkan terdapatnya 4 elektron tidak berpasangan (dapat berikatan dengan atom lain) pada orbital sp3d.
Keadaaan dasar BrF5:
Pada keadaan dasar, elektron dari atom Br yang tidak berpasangan dan dapat berikatan dengan atom lain hanyalah 1 elektron pada orbital 4p, sedangkan dibutuhkan 5 elektron tidak berpasangan untuk berikatan dengan F.
Keadaan tereksitasi BrF5:
Pada keadaan tereksitasi, dua elektron pada orbital 4p berpindah hingga menyebabkan terdapatnya 5 elektron tidak berpasangan (dapat berikatan dengan atom lain) pada orbital sp3d2.
Jadi, tipe hibridisasi senyawa SF4 adalah sp3d dan tipe hibridisasi BrF5 adalah sp3d2.